Virtual Reactor 软件介绍

虚拟反应器（Virtual Reactor）是用于模拟气相外延和块状晶体长期生长的一个二维软件工具。它允许用户分析与生长相关的现象，跟踪整个生长过程中晶体形状的演变，研究晶体源演变和缺陷动态。Virtual Reactor 软件旨在简化和加速生长系统设计和工艺条件的优化，供研发和生产领域的生长工程师使用。

根据所模拟的材料系统和工艺类型，该软件有多个版本。它还有两个用于分析晶体生长的附加模块——Threading Dislocations 模块和 Unsteady 模块。

Mesh and temperature distribution in the growth system in modeling of PVT SiC

用于外延的 Virtual Reactor 软件

Virtual Reactor 软件的外延版本专注于帮助客户实现晶体更高的生长速率和成分均匀性，从而提高生产效率。一些版本还可以模拟无意掺杂和外源掺杂的水平和均匀性。为了获得上述结果，有必要进行精确的热和流动建模，建立反应器表面寄生沉积、气相反应和二次相形成的模型（如适用）:

• III-Nitrides
• III-Vs
• CVD SiC
• CVD Si 和 SiGe
• SiC 的 HTCVD
• III-Vs 和氧化物的 HVPE
• 氧化物 MOCVD

用于晶体生长的 Virtual Reactor 软件

详细的传热和传质、晶体形状演变、源降解（如适用）、位错动力学、残余应力等。请看图示示例：

• PVT SiC
• PVT AlN
• HVPE
• SiC 的 HTCVD

插件：Threading Dislocations 模块

附加组件：Unsteady 模块（主要功能-冷却过程中的应力和 BPD 演变，Alexander-Haasen 模型）