西门子工艺法建立多晶硅沉积建模：

PolySim 软件是专为模拟西门子多晶硅沉积工艺而设计的软件。它包括 PolySim 和 PolySim 3D。这些工具主要面向工程师和研究人员，用户无需具备计算流体动力学方面的专业知识。该工具的独特之处在于内置的热反应和化学反应模型与简单方便的图形用户界面（GUI）相结合，以 "种植者友好 "的术语工作，与实际反应器操作中使用的术语类似，最大限度地减少了可能出现的错误，节省了用户设置问题所需的时间。 建模功能包括湍流气流、电阻棒加热、热辐射、气相和表面化学、通常被称为 "爆米花 "的多孔结构的形成以及颗粒（粉尘）的形成。PolySim 和 PolySim 3D 是该软件的两个互补部分，可以相互交换数据。

Above: Results of PlySim 3D visualized in built-in viewer for thorough analysis of the effect of the flow structure on the growth conditions

PolySim 3D 用于详细研究反应器内部的流动结构。因此，它是寻找底板上最佳喷嘴位置、喷嘴直径和流速以提供均匀生长条件的主要工具。PolySim3D 还可以进行爆米花模拟，这样用户就可以找到并分析棒表面的爆米花位置，并进行优化，以减轻最容易出现问题的位置的爆米花问题。

PolySim 软件用于参数研究和配方开发。它可用于模拟指定配方的生长过程，并获得生产率（千克/小时）、能耗（千瓦时/千克）、硅产量（千克）等过程特性。PolySim 软件还可用于研究任何工艺参数（棒温、TCS 流量、TSC/H2 比、腔室尺寸、棒数、侧壁发射率等）对结果的影响。

软件有助于完成以下实际生产任务：

• 提高反应堆的生产率； 
• 降低能耗；
• 有效地提高三氯硅烷-硅的转化率（产率）；
• 优化材料质量；
• 开发新的先进技术；
• 降低多晶硅成本；

Electric current recipe can be optimized to provide smooth temperature ramp down during the process,

which is optimal for reducing popcorn formation

Overall growth process characteristics (Silicon output, Productivity, Energy consumption, Conversion etc.)

as well as instantaneouscharacteristics at specific time or rod diameter are available in the Results table